10月27日，在位于日照高新區(qū)的山東興華半導(dǎo)體有限責(zé)任公司(以下簡稱“興華半導(dǎo)體”)晶圓生產(chǎn)車間內(nèi)，氧化、光刻、刻蝕、離子注入等各條生產(chǎn)線運行有條不紊。
“生產(chǎn)車間正處于產(chǎn)能提升階段，目前晶圓月產(chǎn)量達2萬片，出片率和單片良率均處于行業(yè)領(lǐng)先水平。”興華半導(dǎo)體總經(jīng)理顏烈藝說。晶圓制造是整個芯片產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵一環(huán)，興華半導(dǎo)體主要致力于晶圓制造、芯片研發(fā)和生產(chǎn)，預(yù)計今年產(chǎn)值可達5560萬元。
作為光子學(xué)與電子學(xué)的交集領(lǐng)域，近年來，光電產(chǎn)業(yè)開啟高速增長模式。2022年，中國光電產(chǎn)業(yè)市場規(guī)模約3000億元，預(yù)計到2025年將達到3500億元。隨著數(shù)字化技術(shù)在各行各業(yè)迅猛發(fā)展，山東各地的光電產(chǎn)業(yè)也乘勢而上，信息光電、激光加工、激光全息、光電傳感等產(chǎn)業(yè)技術(shù)日益成熟，多地加快建設(shè)產(chǎn)業(yè)園區(qū)，以集群之勢推動產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
10月27日，在位于棗莊的東方光源集團智光通信產(chǎn)業(yè)園三期項目現(xiàn)場，鱗次櫛比的廠房在秋日陽光下格外耀眼。生產(chǎn)車間內(nèi)，工人們正忙著調(diào)試各種生產(chǎn)設(shè)備�！敖酉聛磉M行生產(chǎn)工藝調(diào)試，預(yù)計年底投產(chǎn)�！比A光科技光芯棒生產(chǎn)基地總經(jīng)理王檣說。總投資30億元的智光通信產(chǎn)業(yè)園項目分三期建設(shè)，三期項目主產(chǎn)智能光網(wǎng)絡(luò)用特種光纜及光芯棒。
光纖是信息產(chǎn)業(yè)的重要傳輸載體，而光纖90%以上的性能由光纖預(yù)制棒決定。東方光源集團作為棗莊通信產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)，擁有光纖、光纜產(chǎn)業(yè)制造基地，但在產(chǎn)業(yè)鏈上游光纖預(yù)制棒制造環(huán)節(jié)上一直存在缺失。為彌補這一短板，東方光源集團采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的新型工藝，與通鼎互聯(lián)信息股份有限公司合作建設(shè)華光科技光芯棒項目，可實現(xiàn)年產(chǎn)光芯棒400噸。
“產(chǎn)業(yè)園建成后，東方光源將成為集光纖預(yù)制棒、光纖、光纜等相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)為一體的全產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)。”東方光源集團董事長張坤說，三期項目中的特種光纜產(chǎn)品為5G量身定制，廣泛應(yīng)用于通信、航天、化工、石油等領(lǐng)域。
當(dāng)前，棗莊高新區(qū)把光電產(chǎn)業(yè)作為園區(qū)“鋰光醫(yī)智大”產(chǎn)業(yè)集群的重要組成部分，產(chǎn)品類型從傳統(tǒng)的石英光纖光纜、光通信器件逐步擴展到光通信、光顯示、光存儲等領(lǐng)域，“纖芯網(wǎng)屏端”光電信息產(chǎn)業(yè)鏈不斷補強，線纜全產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)痉缎?yīng)、光電特色產(chǎn)業(yè)集群式發(fā)展已初步形成。目前，全區(qū)現(xiàn)有規(guī)模以上光電類工業(yè)企業(yè)8家，1—8月光電產(chǎn)業(yè)鏈營收10.24億元，同比增長45.54%。
光電產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系的“關(guān)鍵少數(shù)”，是新一輪科技革命的必爭之域。位于淄博高新區(qū)齊魯智能微系統(tǒng)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)基地的山東申華光學(xué)科技有限公司，專注于鈮酸鋰薄膜技術(shù)及其潛在的集成光子學(xué)系統(tǒng)的創(chuàng)新研發(fā)。“傳統(tǒng)的體材料鈮酸鋰晶體光學(xué)器件往往尺寸比較大，難以滿足光學(xué)器件趨于小型化、集成化的需求。我們通過‘離子切片’的方式，從塊狀的鈮酸鋰晶體上剝離出鈮酸鋰薄膜，并鍵合到附有二氧化硅緩沖層的硅晶片上，形成薄膜鈮酸鋰材料�！惫究偨�(jīng)理李志華拿起一個小小的芯片向記者展示。
山東申華光學(xué)科技有限公司主要從事光學(xué)元器件的設(shè)計、研發(fā)和生產(chǎn)�！氨∧も壦徜囍苽湓却嬖诰w損傷、粗糙度大、以及成本高等痛點，我們的CMP(化學(xué)機械拋光)法不僅可以使晶體不受損傷，降低薄膜表面粗糙度，而且工藝簡單，有效降低了制備成本�！蹦壳埃摴疽殉晒崿F(xiàn)納米級厚度薄膜鈮酸鋰CMP法直接制備。
今年以來，淄博市光電子產(chǎn)業(yè)鏈“四上”企業(yè)營業(yè)收入同比增長32.8%，已形成以光通信為標(biāo)志，涵蓋光學(xué)晶體、新型顯示、智能終端、集成電路等多領(lǐng)域的特色產(chǎn)業(yè)。目前，淄博高新區(qū)正展開細分產(chǎn)業(yè)鏈重點企業(yè)調(diào)研，結(jié)合光電子產(chǎn)業(yè)鏈上中下游發(fā)展實際，梳理出一批具有較強系統(tǒng)集成能力、較高市場占有份額、重要產(chǎn)業(yè)拉動作用的企業(yè)作為鏈主企業(yè)，支持鏈主企業(yè)做優(yōu)做大，將光電子產(chǎn)業(yè)鏈的招商重點向微波通信、光纖傳感等領(lǐng)域傾斜，聚力打造光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展高地。
作為山東省推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃兩大重點建設(shè)項目之一的煙臺光電傳感產(chǎn)業(yè)園，同樣聚焦壯大產(chǎn)業(yè)鏈。
該園區(qū)以全國首批、全省首家科創(chuàng)板上市企業(yè)睿創(chuàng)微納為龍頭，建設(shè)光電傳感全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新孵化園區(qū)，重點培育聚集紅外傳感器、器件、模組、終端整機等光電產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)和項目。據(jù)介紹，未來五年，產(chǎn)業(yè)園將聚集上下游企業(yè)150家以上，十年達到400家以上，年產(chǎn)值突破700億元。(楊淑棟 孟令洋 栗晟皓 從春龍)(王敏敏 趙健健 參與采寫)(完)
